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Der Begriff Mikrostrukturtechnik wird hier bewusst verwendet, um eine Abgrenzung zur Halbleitertechnologie und der darauf basierenden Mikrosystemtechnik herzustellen. Es werden in diesem Kapitel keine Systembetrachtungen erfolgen. In den folgenden Ausfuhrungen werden nur Technologien behandelt, die der Herstellung von Mikrostrukturen dienen, also von Strukturen mit mindestens einer Abmessung im Mikrometerbereich. Dazu gibt es je nach Zielstellung eine Vielzahl von verschiedenen technologischen Ansatzen, die hier nur auszugsweise behandelt werden konnen. Bewusst ausgeschlossen bleiben die Technologien der Mikroelektronik und der Mikrooptik. Die Miniaturisierung und die Fertigung hochpraziser Strukturen mit kleinsten Abmessungen gehoren zu den wichtigsten Zukunftstrends. Dazu gehoren die Steigerung der Komplexitat und der Funktionsdichte der Baugruppen. Die Technologien der Mikrostrukturtechnik konnen generell eingeteilt werden in Technologien auf der Basis feinwerktechnischer Verfahren und in Technologien auf der Basis von Halbleitertechnologien, Abb. 10.1. Die Grundlagen der entsprechenden Technologien sind in den jeweiligen Kapiteln erlautert und gelten im Allgemeinen auch fur die folgenden Ausfuhrungen. Wo Abweichungen bestehen, werden diese genannt. Fur die Herstellung von Systemen der Mikrotechnik – MEMS oder MEOMS – werden ublicherweise verschiedene technologische Ansatze kombiniert. MEMS sind elektrisch-mechanische Mikrosysteme (micro electro mechanical systems) und MOEMSintegrieren zusatzliche optische Systeme (micro opto electro mechanical systems). |
