7‐1: Distinguished Paper: Reliability Improvement of IGZO‐TFT in Hybrid Process with LTPS
| Autor: | Kohei Tanaka, Kaoru Yamamoto, Naoki Makita, Yujiro Takeda, Mehadi Aman, Kazuatsu Ito, Hiroshi Matsukizono, Wataru Nakamura |
|---|---|
| Rok vydání: | 2021 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | SID Symposium Digest of Technical Papers. 52:57-60 |
| ISSN: | 2168-0159 0097-966X |
| DOI: | 10.1002/sdtp.14609 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|
Plný text