In-Plane-Sensing Analysis of Comb-Like Capacitive Micro-Machined Ultrasonic Transducers (CMUTs) Using Analytical Small-Signal Model and FEM
| Autor: | Sai Zhang, Wei Lu, Yuhua Yang, Renxing Wang, Guojun Zhang, Baiqiang Xu, Mehmet Yilmaz, Wendong Zhang |
|---|---|
| Rok vydání: | 2023 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | IEEE Sensors Journal. 23:11498-11511 |
| ISSN: | 2379-9153 1530-437X |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|