Local-Loading Effects for Pure-Boron-Layer Chemical-Vapor Deposition

Autor:	Vahid Mohammadi, Wiebe De Boer, Tom L.M. Scholtes, Lis Nanver
Rok vydání:	2012
Zdroj:	ECS Meeting Abstracts. :2623-2623
ISSN:	2151-2043
DOI:	10.1149/ma2012-02/31/2623
Popis:	not Available.
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::b4828acc916744c46dd20228c7425923 https://doi.org/10.1149/ma2012-02/31/2623 Zobrazit plný text záznamu