Les capteurs MEMS - Principes de fonctionnement

Autor: Gilles AMENDOLA, Patrick POULICHET, Laure SEVELY, Laurie VALBIN
Rok vydání: 2011
Zdroj: Instrumentation et méthodes de mesure.
DOI: 10.51257/a-v1-r430
Databáze: OpenAIRE