Surface Cleaning and Modification of Oxide Films by Atomic Hydrogen Annealing

Autor:	Akira Heya, Koji Sumitomo
Rok vydání:	2022
Předmět:	Polymers and Plastics Organic Chemistry Materials Chemistry
Zdroj:	Journal of Photopolymer Science and Technology. 35:351-357
ISSN:	1349-6336 0914-9244
DOI:	10.2494/photopolymer.35.351
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::b3cdc5d897fddd442098e73d5d7142b9 https://doi.org/10.2494/photopolymer.35.351 Zobrazit plný text záznamu