Carbon Beam at I-3 Injector for Semiconductor Implantation

Autor:	Kulevoy, Timur V, A. A. Losev, Satov, Yuri A., Alexeev, Nikolay Nikolaevitch, Shumshurov, Alexander, A. D. Milyachenko, Alekseev, Paul, Lagov, Petr, Pavlov, Yuri S., M. E. Letovaltseva
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	2021
DOI:	10.13140/rg.2.2.33878.78408
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::b3af660962f6cefe4300e6cbd4fb13a2 Zobrazit plný text záznamu