Влияние состава смеси на электрофизические параметры и спектры излучения плазмы хлороводорода с хлором и гелием

Rok vydání:	2021
Předmět:	Electrical and Electronic Engineering
Zdroj:	Микроэлектроника. 50:43-48
ISSN:	0544-1269
DOI:	10.31857/s0544126920060095
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::b312d132369a06879a8307148351b407 https://doi.org/10.31857/s0544126920060095 Zobrazit plný text záznamu