Preparation of terbium-cobalt thin films for erasable optical memory disk
| Autor: | Nobuaki Yasuda, Akio Hori, Katsutaro Ichihara |
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| Rok vydání: | 1986 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | The Journal of the Institute of Television Engineers of Japan. 40:521-527 |
| ISSN: | 1884-9652 0386-6831 |
| DOI: | 10.3169/itej1978.40.521 |
| Popis: | 消去可能な光メモリーディスクの開発が非晶質希土類-遷移金属 (RE-TM) 合金膜を先頭として急ピッチで進められている.実用化には解決しなければならない諸点があり, 耐環境性改善もそのひとつである.これはRE-TM膜に含まれるFe成分の酸化 (さび) の防止でもある.筆者らは, さびないTbCo膜を選び, 垂直磁気異方性を持たせる成膜条件を探究した.Co系RE-TM膜にはバイアススパッタリング法が適しているとされるが, この方法では耐熱性の低い透明有機樹脂基板上に成膜できない.無バイアススパッタリング法での成膜条件を追究した結果, 膜のTbとCoの組成比を制約すれば充分であり, バイアススパッタの膜は緻密度が低下するため耐環境性が悪化した.また, スパッタで作製した透明下地膜には浮遊酸素が含まれており, これを除去すれば磁気特性が大幅に安定することが判明した.Feを含んだ膜よりも耐環境性の優れた光ディスクの作製技術を開発できたと思っている. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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