The Simulation of Integrated Tool Performance in Semiconductor Manufacturing

Autor:	J.L. Mauer, R.E.A. Schelasin
Rok vydání:	2005
Zdroj:	Proceedings of 1993 Winter Simulation Conference - (WSC '93).
DOI:	10.1109/wsc.1993.718324
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::b20c7db5f0db210e84ef74f5c4df6006 https://doi.org/10.1109/wsc.1993.718324 Zobrazit plný text záznamu