Autoemission properties of nanoscale structures

Jazyk: ruština
Rok vydání: 2019
Předmět:
DOI: 10.18720/spbpu/3/2019/vr/vr19-1840
Popis: В данной работе рассмотрены автоэмиссионные Ñ Ð°Ñ€Ð°ÐºÑ‚ÐµÑ€Ð¸ÑÑ‚Ð¸ÐºÐ¸ Ñ€Ð°Ð·Ð»Ð¸Ñ‡Ð½Ñ‹Ñ Ñ‚Ð¾Ð½ÐºÐ¾Ð¿Ð»ÐµÐ½Ð¾Ñ‡Ð½Ñ‹Ñ ÑÑ‚Ñ€ÑƒÐºÑ‚ÑƒÑ€ на ÐºÑ€ÐµÐ¼Ð½Ð¸ÐµÐ²Ñ‹Ñ Ð¿Ð¾Ð´Ð»Ð¾Ð¶ÐºÐ°Ñ Ñ€Ð°Ð·Ð»Ð¸Ñ‡Ð½Ñ‹Ñ Ñ‚Ð¸Ð¿Ð¾Ð². Структуры создавались из Ñ‚Ð°ÐºÐ¸Ñ Ð¼ÐµÑ‚Ð°Ð»Ð»Ð¾Ð², как Mo, Zr, W, Ni, Ti. При Ñ€Ð°Ð·Ð½Ñ‹Ñ ÑÐºÐ¾Ñ€Ð¾ÑÑ‚ÑÑ Ð½Ð°Ð¿Ñ‹Ð»ÐµÐ½Ð¸Ñ и температуре подложки. Проанализированы эмиссионные Ñ Ð°Ñ€Ð°ÐºÑ‚ÐµÑ€Ð¸ÑÑ‚Ð¸ÐºÐ¸, зависимости тока от времени, выявлена оптимальная топография Ð¿Ð¾Ð²ÐµÑ€Ñ Ð½Ð¾ÑÑ‚Ð¸.
In this paper, the field emission characteristics of various thin-film structures on silicon substrates of various types were considered. The structures were created from metals such as Mo, Zr, W, Ni, Ti. At different deposition rates and substrate temperatures. The emission characteristics was analyzed, the optimal surface topography was revealed.
Databáze: OpenAIRE
Externí odkaz: