3D measurement using SEM technology
| Autor: | Younghoon Sohn, JaeHyung Ahn, Inseok Park, Souk Kim, DongHoon Kim |
|---|---|
| Rok vydání: | 2023 |
| Zdroj: | Metrology, Inspection, and Process Control XXXVII. |
| DOI: | 10.1117/12.2657478 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|
| Autor: | Younghoon Sohn, JaeHyung Ahn, Inseok Park, Souk Kim, DongHoon Kim |
|---|---|
| Rok vydání: | 2023 |
| Zdroj: | Metrology, Inspection, and Process Control XXXVII. |
| DOI: | 10.1117/12.2657478 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|