Pinning Effect of Fe(ClO) and Ti(ClO) Compounds on Cu Grain Growth in Very Narrow Cu Wires
Autor: | Kishio Hidaka, Nobuhiro Ishikawa, Jin Onuki, Takatoshi Nagano, Yasushi Sasajima, Kunihiro Tamahashi |
---|---|
Rok vydání: | 2015 |
Předmět: | |
Zdroj: | ECS Electrochemistry Letters. 4:D35-D39 |
ISSN: | 2162-8734 2162-8726 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |