Atomic layer deposition – technology that changed the world

Autor:	O. Simonov
Rok vydání:	2015
Předmět:	Atomic layer deposition Materials science Nanotechnology
Zdroj:	Nanoindustry Russia. :40-45
ISSN:	1993-8578
DOI:	10.22184/1993-8578.2015.58.4.40.45
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::b05a0727a89373927ba05a4a33ae5444 https://doi.org/10.22184/1993-8578.2015.58.4.40.45 Zobrazit plný text záznamu