P‐8.6: Elimination of Nanorods by Tetramethylammonium Hydroxide for the Fabrication of AlGaN‐based UV‐C Micro‐LED Array
| Autor: | Feng Feng, Yibo Liu, Ke Zhang, Ka-Wah Chan, Zhaojun Liu, Hoi-Sing Kwok |
|---|---|
| Rok vydání: | 2022 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | SID Symposium Digest of Technical Papers. 53:888-891 |
| ISSN: | 2168-0159 0097-966X |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|
Plný text