Polishing Characteristics of Glass Substrate Using New Atmosphere Control Sealed CMP Machine (Bell-jar Shaped CMP Machine)
Autor: | Yin Tao, Tsutomu Yamazaki, Yoji Umezaki, Osamu Ohnishi, Toshiro Doi, Michio Uneda, Syuhei Kurokawa, Hideo Aida |
---|---|
Rok vydání: | 2012 |
Předmět: | |
Zdroj: | Journal of the Japan Society for Precision Engineering. 78:149-154 |
ISSN: | 1882-675X 0912-0289 |
DOI: | 10.2493/jjspe.78.149 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |