Polishing Characteristics of Glass Substrate Using New Atmosphere Control Sealed CMP Machine (Bell-jar Shaped CMP Machine)

Autor: Yin Tao, Tsutomu Yamazaki, Yoji Umezaki, Osamu Ohnishi, Toshiro Doi, Michio Uneda, Syuhei Kurokawa, Hideo Aida
Rok vydání: 2012
Předmět:
Zdroj: Journal of the Japan Society for Precision Engineering. 78:149-154
ISSN: 1882-675X
0912-0289
DOI: 10.2493/jjspe.78.149
Databáze: OpenAIRE