Calculational Evaluation of the Adsorption–Desorption Behavior of Pyrolysis Products in GaAsxP1 – x Metalorganic Vapor Phase Epitaxy

Autor: A. D. Maksimov, M. A. Davydkin, T. A. Bagaev, A. Yu. Andreev, I. V. Yarotskaya, M. A. Ladugin, A. A. Marmalyuk
Rok vydání: 2022
Předmět:
Zdroj: Inorganic Materials. 58:425-432
ISSN: 1608-3172
0020-1685
DOI: 10.1134/s0020168522040112
Databáze: OpenAIRE
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje