Autor:	Min-Kyung Jang, Jung June Lee, Jae Hwan Sim, You Rim Shin, Jae Yun Ahn, Jae-Bong Lim
Rok vydání:	2018
Předmět:	Materials science Polymers and Plastics Organic Chemistry Materials Chemistry Immersion (virtual reality) Nanotechnology Lithography Anti reflective Immersion lithography
Zdroj:	Journal of Photopolymer Science and Technology. 31:541-545
ISSN:	1349-6336 0914-9244
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::af2af2f88ffc6d0a47bb778ef0a7c9cb https://doi.org/10.2494/photopolymer.31.541 Zobrazit plný text záznamu