Autor:	Rui M. R. Pinto, Ved Gund, Rosana Alves Dias, K. K. Nagaraja, K. B. Vinayakumar
Rok vydání:	2022
Předmět:	Mechanical Engineering Electrical and Electronic Engineering
Zdroj:	Journal of Microelectromechanical Systems. 31:500-523
ISSN:	1941-0158 1057-7157
DOI:	10.1109/jmems.2022.3172766
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::ae949e0f7488d861f0bf230ac073ddde https://doi.org/10.1109/jmems.2022.3172766 Zobrazit plný text záznamu