Next Generation CMP Process Technique for Hard-to-Process Single Crystals
| Autor: | Hideo AIDA, Hidetoshi TAKEDA, Tadakazu MIYASHITA, Atsushi KAJIKURA, Toshiro DOI |
|---|---|
| Rok vydání: | 2022 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Journal of the Japan Society for Precision Engineering. 88:435-439 |
| ISSN: | 1882-675X 0912-0289 |
| DOI: | 10.2493/jjspe.88.435 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|