Growth of 2-inch diamond films on 4H–SiC substrate by microwave plasma CVD for enhanced thermal performance
Autor: | Xiufei Hu, Ming Li, Yingnan Wang, Yan Peng, Gongbin Tang, Xiwei Wang, Bin Li, Yiqiu Yang, Mingsheng Xu, Xiangang Xu, Jisheng Han, Kuan Yew Cheong |
---|---|
Rok vydání: | 2023 |
Předmět: | |
Zdroj: | Vacuum. 211:111895 |
ISSN: | 0042-207X |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |