AN INFLUENCE OF DOPING ON THE KINETICS OF BPSG DEPOSITION PROCESS AND THE PROPERTIES OF THE DEPOSITED LAYER
| Autor: | P.B. Grabiec, S.M. Pietruszko |
|---|---|
| Rok vydání: | 1989 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Le Journal de Physique Colloques. 50:C5-585 |
| ISSN: | 0449-1947 |
| DOI: | 10.1051/jphyscol:1989569 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|