A Study of Dielectric Reliability of Anodic TiO2 Based Single and Double Layer Metal-Insulator-Metal Capacitors

Autor: Vikram Singh, Vijetha Tummala, R Karthik
Rok vydání: 2017
Předmět:
Zdroj: Journal of Nanoelectronics and Optoelectronics. 12:85-88
ISSN: 1555-1318
1555-130X
DOI: 10.1166/jno.2017.1983
Databáze: OpenAIRE