Evolution of Growth Stress of HfO2Thin Film
Autor: | 方明 Fang Ming, 邵建达 Shao Jianda, 沈雪峰 Shen Xuefeng, 范正修 Fan Zhengxiu, 邵淑英 Shao Shuying |
---|---|
Rok vydání: | 2009 |
Předmět: | |
Zdroj: | Acta Optica Sinica. 29:1734-1739 |
ISSN: | 0253-2239 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |