Exploring Cryogenic Focused Ion Beam Milling as a Group III-V Device Fabrication Tool

Autor:	Christopher Santeufemio, Melissa C. Dolph
Rok vydání:	2013
DOI:	10.21236/ada597233
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::a67d593418b0391b39a5e106a1f0316a https://doi.org/10.21236/ada597233 Zobrazit plný text záznamu