Nanolithography
Autor: | D K Ferry, M Khoury, D P Pivin, K M Connolly, T K Whidden, M N Kozicki, D R Allee |
---|---|
Rok vydání: | 1996 |
Předmět: | |
Zdroj: | Semiconductor Science and Technology. 11:1552-1557 |
ISSN: | 1361-6641 0268-1242 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |