基于水辅助的飞秒激光碳化硅微孔加工(特邀)

Autor: 徐思佳 XU Sijia, 于颜豪 YU Yanhao, 陈岐岱 CHEN Qidai
Rok vydání: 2021
Předmět:
Zdroj: ACTA PHOTONICA SINICA. 50:66
ISSN: 1004-4213
DOI: 10.3788/gzxb20215006.0650106
Databáze: OpenAIRE