ИССЛЕДОВАНИЕ СИЛИЦИДООБРАЗОВАНИЯ ПРИ ТЕРМОДИФФУЗИИ Mn И Ba В КРЕМНИЙ

Jazyk: ruština
Rok vydání: 2023
Předmět:
DOI: 10.5281/zenodo.7905231
Popis: В настоящей работе исследованы характеристики тонких пленок Mn2Si3 и BaSi2, полученных с поверхности кремния методом термодиффузии в приповерхностном пограничном слое. Установлено, что интенсивность, энергетическое состояние и форма спектра Оже – электронов и тип химической связи определяются переходным процессом Оже – пик валентных электронов. Комплексный анализ показал, что если меняется только интенсивность, то химической связи нет, если Оже – пик расщепляются, то химическая связь есть.
Databáze: OpenAIRE