Circuit model for flat cut-off probes with coplanar capacitance
Autor: | Hyo-Chang Lee, Hee Jung Yeom, Jung-Hyung Kim, K. H. You |
---|---|
Rok vydání: | 2021 |
Předmět: | |
Zdroj: | Plasma Sources Science and Technology. 30:065012 |
ISSN: | 1361-6595 0963-0252 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |