Autor:	Kinumi Hayashi
Rok vydání:	2021
Předmět:	Materials science business.industry Sputtering Radio frequency glow discharge General Engineering Optoelectronics Glow discharge plasma Optical emission spectroscopy business
Zdroj:	Journal of The Surface Finishing Society of Japan. 72:138-144
ISSN:	1884-3409 0915-1869
DOI:	10.4139/sfj.72.138
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::a4bf1aa7a9c094b28e21ff1f8e385d50 https://doi.org/10.4139/sfj.72.138 Zobrazit plný text záznamu