Autor:	Shigeo Ueguri, Yoshio Saitoh, Yukio Sato
Rok vydání:	1995
Předmět:	Materials science business.industry Optoelectronics Electrical and Electronic Engineering business Excimer
Zdroj:	IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials. 115:1180-1190
ISSN:	1347-5533 0385-4205
DOI:	10.1541/ieejfms1990.115.12_1180
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::a42229ecfed25d2df5030a2627f03b7f https://doi.org/10.1541/ieejfms1990.115.12_1180 Zobrazit plný text záznamu