Employing Stencil-Assisted Laser Ablation to Simplify the Fabrication of Polymer Membrane-Suspended Microstructures on Printed Circuit Boards
| Autor: | Simon Binder, Tanvir Ahmad, Florian Solzbacher, Christopher F. Reiche |
|---|---|
| Rok vydání: | 2023 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Journal of Microelectromechanical Systems. :1-3 |
| ISSN: | 1941-0158 1057-7157 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|