ChemInform Abstract: Silicon-on-Insulator Films Obtained by Etchback of Bonded Wafers

Autor:	B. Hoefflinger, E. Penteker, C Harendt, H G Graf, W. Appel
Rok vydání:	1990
Předmět:	business.industry Chemistry Optoelectronics Silicon on insulator Wafer General Medicine business
Zdroj:	ChemInform. 21
ISSN:	0931-7597
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::a25941efcedb6364460504826ab83958 https://doi.org/10.1002/chin.199009354 Zobrazit plný text záznamu Plný text