Relaxation of Mechanical Stress in Epitaxial Films of Cubic Silicon Carbide on Silicon Substrates with a Buffer Porous Layer

Autor: A. S. Gusev, N. I. Kargin, S. M. Ryndya, G. K. Safaraliev, N. V. Siglovaya, M. O. Smirnova, I. O. Solomatin, A. O. Sultanov, A. A. Timofeev
Rok vydání: 2021
Předmět:
Zdroj: Technical Physics. 66:869-877
ISSN: 1090-6525
1063-7842
DOI: 10.1134/s1063784221060074
Databáze: OpenAIRE
Externí odkaz:
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje