An Outlier Removal Method for SPC in Semiconductor Manufacturing

Autor: Masateru Minami, Tetsuya Homma, Tomoaki Kubo
Rok vydání: 2010
Předmět:
Zdroj: SICE Journal of Control, Measurement, and System Integration. 3:292-298
ISSN: 1884-9970
1882-4889
DOI: 10.9746/jcmsi.3.292
Databáze: OpenAIRE