An Outlier Removal Method for SPC in Semiconductor Manufacturing
Autor: | Masateru Minami, Tetsuya Homma, Tomoaki Kubo |
---|---|
Rok vydání: | 2010 |
Předmět: | |
Zdroj: | SICE Journal of Control, Measurement, and System Integration. 3:292-298 |
ISSN: | 1884-9970 1882-4889 |
DOI: | 10.9746/jcmsi.3.292 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |