Epitaxial piezoelectric layer SMR fabricated using epitaxial sacrificial layer process

Autor:	Shinya Kudo, Satoshi Tokai, Takahiko Yanagitani
Rok vydání:	2022
Zdroj:	2022 IEEE MTT-S International Conference on Microwave Acoustics and Mechanics (IC-MAM).
DOI:	10.1109/ic-mam55200.2022.9855309
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::a0cc131bec702e3278eddb29a5f3a4d5 https://doi.org/10.1109/ic-mam55200.2022.9855309 Zobrazit plný text záznamu