ChemInform Abstract: Oxidation of Single-Crystal Silicon Carbide. Part 1. Experimental Studies

Autor:	Z. Zheng, R. E. Tressler, K. E. Spear
Rok vydání:	1990
Předmět:	Chemical engineering Chemistry Single crystal silicon General Medicine Carbide
Zdroj:	ChemInform. 21
ISSN:	0931-7597
DOI:	10.1002/chin.199022024
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::a0cb6bfc3fea8ddf73a7ef5347a5be5f https://doi.org/10.1002/chin.199022024 Zobrazit plný text záznamu Plný text