Autor:	Sridhar Balakrishnan, Ruth A. Brain, Larry Zhao
Rok vydání:	2012
Předmět:	Interconnection Materials science Air gap (networking) business.industry Process integration Electrical engineering business Electromigration Engineering physics
Zdroj:	Advanced Interconnects for ULSI Technology
DOI:	10.1002/9781119963677.ch7
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::9fec23ddeccd1e72517d0f66c66e96f9 https://doi.org/10.1002/9781119963677.ch7 Zobrazit plný text záznamu