Thin‐film deposition by combining plasma jet with spark discharge source at atmospheric pressure

Autor:	Moldir T. Toktamyssova, T. T. Daniyarov, Yerbolat A. Ussenov, M. K. Dosbolayev, Tlekkabul Ramazanov, Maratbek Gabdullin
Rok vydání:	2020
Předmět:	Materials science Atmospheric pressure Plasma jet Dielectric barrier discharge Thin film Composite material Condensed Matter Physics Spark discharge
Zdroj:	Contributions to Plasma Physics. 61
ISSN:	1521-3986 0863-1042
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::9fb6e839bddd6d1ba396c4a76d41be5d https://doi.org/10.1002/ctpp.202000140 Zobrazit plný text záznamu Plný text