New Aqueous Clean for Aluminum Interconnects: Part I. Fundamentals
Autor: | Kenneth J. McCullough, E.W. Kiewra, D.D. Miura, B.N. Rhoads, G. Stojakovic, R.V.S.S.N. Ravikumar, Ronald G. Filippi, David L. Rath, D.J. Delehanty |
---|---|
Rok vydání: | 2001 |
Předmět: | |
Zdroj: | Solid State Phenomena. :31-34 |
ISSN: | 1662-9779 |
DOI: | 10.4028/www.scientific.net/ssp.76-77.31 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |