Impact of pFET channel formation and patterning on the strain in SiGe nanosheets investigated by µRaman spectroscopy
Autor: | L. Gaben, R. Berthelon, F. Andrieu, D. Rouchon, D. Dutartre, F. Roze, M. Vinet |
---|---|
Rok vydání: | 2018 |
Předmět: | |
Zdroj: | Extended Abstracts of the 2018 International Conference on Solid State Devices and Materials. |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |