P‐11.9: Study on process conditions of planarization layer in FFS mode using a‐IGZO TFTs
Autor: | Li Zhang, Shu-Jhih Chen, Chunge Yuan, Kai-Jun Wang, Yu Shi, Zhu-Hui Li, Chia-Yu Lee, Qiao Huang |
---|---|
Rok vydání: | 2019 |
Předmět: | |
Zdroj: | SID Symposium Digest of Technical Papers. 50:927-929 |
ISSN: | 2168-0159 0097-966X |
DOI: | 10.1002/sdtp.13696 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |