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Nous presentons dans une premiere partie une etude de miroirs interferentiels multicouches composes de divers materiaux pour des longueurs d'onde de l'ordre de 30 nm. Les quatre systemes etudies, Mo/Si recouvert de Si ou de B 4 C, B 4 C/Si et Mo/B 4 C/Si/B 4 C, presentent des pouvoirs reflecteurs de l'ordre de 24% autour de 30 nm. Les multicouches B 4 C/Si et Mo/B 4 C/Si/B 4 C presentent une meilleure selectivite que les multicouches Mo/Si. Sur ces dernieres, la couche de protection en B 4 C ne permet pas d'ameliorer la stabilite en temperature, par contre l'ajout de B 4 C aux interfaces ameliore considerablement cette stabilite. Dans une seconde partie, nous presentons la realisation et la calibration de lames separatrices a 13,9 nm pour un interferometre de Michelson. Les lames separatrices que nous avons developpees presentent des proprietes symetriques : les reflectivites de chaque face ne different que de 6%. Le produit reflectivite - transmission de ces lames peut etre optimise au-dessus de 2% pour une longueur d'onde fixee dans la gamme 12,6-15,5 nm. |
