The electron-beam-plasma ion source as source of negative fluorine

Autor: G. D. Alton, R. F. Welton, S. N. Murray, B. Cui
Rok vydání: 1998
Předmět:
Zdroj: Review of Scientific Instruments. 69:1327-1331
ISSN: 1089-7623
0034-6748
DOI: 10.1063/1.1148800
Databáze: OpenAIRE