Autor:	Young Gon Lee, Sang Ho Lee, Sung Kye Park
Rok vydání:	2023
Zdroj:	2023 7th IEEE Electron Devices Technology & Manufacturing Conference (EDTM).
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::99cd0fbe541dbebc36b2bb7c56a1f0ca https://doi.org/10.1109/edtm55494.2023.10102958 Zobrazit plný text záznamu