Design of implantable microprobe for silicon wet bulk micromachining

Autor:	Evgeny Y. Gusev, Artur V. Saryev, Sofya V. Malokhatko, Oleg A. Ageev
Rok vydání:	2022
Zdroj:	International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2021.
DOI:	10.1117/12.2624530
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::98ceb4c1b8ac53e586720034255d53a2 https://doi.org/10.1117/12.2624530 Zobrazit plný text záznamu