Multiple Gate Oxide Technology Using Fluorine Implantation
Autor: | V.M.H. Meyssen, R.M.D.A. Velghe, Pierre H. Woerlee, M.J. Knitel, A.T.A. Zegers van Duijnhoven |
---|---|
Rok vydání: | 2001 |
Předmět: | |
Zdroj: | 31st European Solid-State Device Research Conference. |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |