Sodium Enhanced Oxidation of Si-Face 4H-SiC: A Method to Remove Near Interface Traps

Autor:	Einar O. Sveinbjörnsson, Fredrik Allerstam, H.Ö. Ólafsson, G. Gudjónsson, D. Dochev, T. Rödle, R. Jos
Rok vydání:	2007
DOI:	10.4028/0-87849-442-1.487
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::97de337aecf14342c157a49874e8bd55 https://doi.org/10.4028/0-87849-442-1.487 Zobrazit plný text záznamu