Directly Patterning Low Dielectric Constant Materials by Room-Temperature Imprint Lithography

Autor:	Han-Ching Lin, Hung-Min Chen
Rok vydání:	2011
Zdroj:	ECS Meeting Abstracts. :1959-1959
ISSN:	2151-2043
DOI:	10.1149/ma2011-02/28/1959
Popis:	not Available.
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::969046cda0ef758d6724a86c2b4777a3 https://doi.org/10.1149/ma2011-02/28/1959 Zobrazit plný text záznamu