Nanosecond Laser Annealing of Implanted Silicon: Simulation of Dynamics
Autor: | O. L. Sadovskaya, S. P. Zhvavyi |
---|---|
Rok vydání: | 1989 |
Předmět: | |
Zdroj: | Physica Status Solidi (a). 112:K19-K22 |
ISSN: | 1521-396X 0031-8965 |
DOI: | 10.1002/pssa.2211120166 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |